点击图片查看原图加热区 : 12”dia x 48L
最高温 : 1200C
Heater : R-Type, 3Set T/C, lead wire and head 160A, 380V/60Hz/3ph
三区加热, 计算机控制, 可自动控制温度(升降温、恒温)及控制真空压力与手臂进出
自动 PID 控制器
实时 LED 显示屏幕当下实际温度与制程参数
适用芯片 6~8" Wafer
可课制设定温度设定程序，且可调整 PID 参数以达到最佳设定温度点
退火炉 / 扩散炉 /LPCVD
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退火炉 / 扩散炉 /LPCVD
详细信息 加热区 : 12”dia x 48L
最高温 : 1200C Heater : R-Type, 3Set T/C, lead wire and head 160A, 380V/60Hz/3ph 三区加热, 计算机控制, 可自动控制温度(升降温、恒温)及控制真空压力与手臂进出 自动 PID 控制器 实时 LED 显示屏幕当下实际温度与制程参数 适用芯片 6~8" Wafer 可课制设定温度设定程序，且可调整 PID 参数以达到最佳设定温度点 |